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  簡體中文| English   5. 20,2024


N2 Shield

N2-Shield 應用於半導體APCVD製程中,本公司的N2-Shield採一體成型,無螺絲設計,增加使用壽命,延長PM的Cycle Time,Shiled的網面部分採特殊的加工法製成,每一網洞的大小及形狀均一,使得我們的Shield在均勻度及沉積率方面的表現非常好,這是由我們許多的客戶驗證的結果,另外在各接縫處加強焊接,經由多次的Process 及 Clean Cycle後Shield的兩側檔片亦不會因HF的強力清洗而脫落。