冠緯科技股份有限公司

新設備我們所提供的產品，分為設備、材料及零配件二大部份；設備如各式乾蝕刻機，去光阻機，爐管，晶舟及光罩清洗機等.....，材料零配件範圍非常廣泛，從測試晶圓、加工之晶圓，到半導體及光電業各個製程，如黃光、擴散、離子植入、CVD、PVD、Etch、CMP等，均有產品提供，客戶包含國內外各大半導體前製程、後製程及半導體設備廠商及光電廠商。
	01. 電漿洗滌機 Dry Scrubber (Plasma Trap) ETC Plasma Trap Superior Scrubber Performance for :PECVD and LPCVD Nitride,TEOS and PSG/BPSG.PECVD α-Si, SiC and LPCVD Poly Si.LPCVD W and W Silicide. ...
	02. 去光阻機 PR Stripper Matrix System one (MX111E/MX105E/MX106E/MX04E / MX145E/MX303E)Matrix System 10 (MT1144/MT1166/MT1177/MT1188/MT1199)Cheetah